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来源：多乐娱乐游戏平台 发布时间：2026-01-24 20:35:56多乐游戏官网安卓版:
RTP-300快速退火炉为德国优尼坦公司出产，分为RTP-100, RTP-150, RSO-200,VPO-300共四个类型，别离对应4英寸、6英寸、8英寸、12英寸的真空快速退火炉产品。
- 工艺气路：MFC操控，最多4路 (氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)；
- 全主动智能操控，包含温度、时刻、气体流量、真空度、循环水均可主动设置；
- 快速热处理(RTP)，快速退火(RTA)，快速热氧化(RTO)，快速热氮化(RTN)；
西安交通大学、西安电子科技大学、中国科技大学、江汉大学、中科院上海技能物理所、中科院姑苏纳米所、北京航天仪器研究所、京东方、武汉光迅、能华微电子等。
